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• Automatic Defect Detection & Classification
• Automated Die Inspection
• Precision Dimensional Metrology
• Critical Dimension (CD) and Overlay Metrology
• Automatic and Manual Operation
• Surface & Edge Defect Detection
• Texture Defect Detection (e.g. stains, etc.)
• Missing or Deformed Object Detection
• Extensive Defect Review Capability
• Graphic Maps & Image Archival
• CAD file import

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